Mengikut kaedah bekalan medium, cryopumps dibahagikan kepada jenis berikut:
Pam kriogenik tangki simpanan: medium suhu rendah (helium cecair) secara langsung disuntik ke dalam tangki simpanan dalam pam untuk mengembun gas untuk mencapai tujuan mengepam.
Kelebihan tangki simpanan cryopump adalah bahawa pam bersaiz kecil, tiada getaran, tiada bunyi bising, dan mudah dikendalikan.
Kelemahan pam kriogenik tangki simpanan adalah bahawa kos operasi adalah tinggi, masa penggunaan setiap pengisian medium suhu rendah adalah pendek, dan sistem vakum yang perlu beroperasi secara berterusan untuk masa yang lama perlu menambah medium kerja secara berkala, dan terhad oleh keadaan bekalan medium suhu rendah.
Proses cryopump: Paip penyejukan cryopanel di pam disambungkan ke pengembang penyejukan, dan medium kriogenik (gas helium) dibekalkan ke cryopump melalui saluran paip luar, menyerap haba cryopanel, dan kemudian kembali ke pemampat penyejukan untuk membentuk kitaran tertutup. Jumlah pam sangat besar, saluran paipnya rumit, dan kehilangan penyejukan saluran paip adalah besar.
Kelebihan proses cryopump adalah bahawa ia mempunyai kuasa penyejukan yang besar dan paling sesuai untuk mengeluarkan jumlah atmosfera atau ruang vakum yang besar.
Cryopump peti sejuk kecil kitaran kecil: Cryopump peti sejuk kecil kitaran tertutup terdiri daripada badan pam suhu rendah, cryopanel pengekstrakan udara, plat pelindung radiasi, peti sejuk dan pemampat.
Perbezaan terbesar antara pam kriogenik peti sejuk kecil dan pam kriogenik proses adalah bahawa kepala sejuk pertama dan kedua peti sejuk disambungkan terus ke skrin radiasi dan plat sejuk, dan aliran dalam saluran paip penghubung antara peti sejuk dan pemampat adalah suhu normal, suhu tinggi (atau rendah). ) medium gas bertekanan, tidak ada masalah pengangkutan sederhana suhu rendah, dan ia mempunyai kelebihan proses cryopump dan tangki simpanan cryopump. Ia adalah pam vakum ultra tinggi bersih yang ideal pada masa ini.
Cryopumps peti sejuk kecil digunakan secara meluas dalam penyediaan filem nipis, teknologi mikroelektronik, fizik tenaga tinggi, peralatan mati cincin kecil dan bidang perindustrian lain.