Cryopump ialah pam vakum yang menggunakan permukaan suhu rendah untuk memeluwap gas, juga dikenali sebagai pam kondensat. Cryopump boleh mendapatkan vakum bersih dengan kadar pengepaman tertinggi dan tekanan muktamad yang paling rendah, dan digunakan secara meluas dalam penyelidikan dan pengeluaran semikonduktor dan litar bersepadu, serta penyelidikan rasuk molekul, peralatan salutan vakum, instrumen analisis permukaan vakum, ion implan dan simulasi ruang. peranti, dsb.
Prinsip pengepaman Cryopump dilengkapi dengan plat sejuk yang disejukkan pada suhu yang sangat rendah oleh helium cecair atau peti sejuk. Ia memeluwap gas dan mengekalkan tekanan wap kondensat di bawah tekanan muktamad pam, untuk mencapai kesan pengepaman. Fungsi utama pengepaman suhu rendah ialah pemeluwapan suhu rendah, penjerapan suhu rendah dan tangkapan suhu rendah.
cryopump
① Pemeluwapan suhu rendah: molekul gas terpeluwap pada permukaan plat sejuk atau pada lapisan gas terkondensat, dan tekanan keseimbangan pada asasnya sama dengan tekanan wap pemeluwapan. Apabila mengepam hidrogen, suhu plat sejuk lebih rendah.
②Penjerapan suhu rendah: Molekul gas diserap pada permukaan penjerap yang disalut pada plat sejuk dengan ketebalan satu lapisan molekul. Tekanan keseimbangan untuk penjerapan adalah jauh lebih rendah daripada tekanan wap pada suhu yang sama.
③Pemerangkapan kriogenik: Molekul gas yang tidak boleh terpeluwap pada suhu pengekstrakan tertimbus dan diserap oleh lapisan gas boleh terkondensasi yang semakin meningkat.