Cryopumps dibahagikan kepada dua jenis: cryopumps helium cecair jenis suntikan dan cryopumps peti sejuk helium gas litar tertutup.
Suntikan cecair helium cryopump
Ia terutamanya terdiri daripada bekas helium cecair, badan pam dan rongga nitrogen cecair yang disambungkan ke baffle. Untuk mengurangkan penggunaan helium cecair, dinding luar bekas helium cecair mengamalkan dinding penebat haba dua lapisan dan dipindahkan di antara.
Apabila pam dipam ke tekanan Pa, nitrogen cecair dan helium cecair disuntik, dan kondensses gas pada plat sejuk kerja 4.2K. Selepas pra-pam, tekanan separa helium dan hidrogen adalah dalam urutan Pa, jadi pam boleh mendapatkan tekanan muktamad di bawah Pa.
Sekiranya bekas helium cecair dipindahkan dan dinyahmampatkan kepada 6650 Pa, suhu helium cecair boleh dikurangkan kepada 2.3K, dan tekanan had yang lebih rendah boleh diperolehi.
Kitaran tertutup gas helium peti sejuk cryopump
Ia adalah jenis cryopump baru yang muncul pada tahun 1970-an. Pam ini tidak menggunakan helium, mudah dikendalikan, mudah dijaga, dan semakin digunakan.
Medium penyejukan peti sejuk adalah helium gas, suhu plat sejuk peringkat pertama adalah 50-100K, dan aplikasi biasa ialah 65K, yang digunakan untuk mengembun wap air dan gas lain pra-sejuk; suhu plat sejuk peringkat kedua ialah 10-20K, yang digunakan untuk mengembun nitrogen, gas seperti oksigen dan argon.
Permukaan dalaman plat sejuk sekunder disalut dengan karbon aktif. Karbon diaktifkan mempunyai kapasiti penjerapan yang kuat untuk helium, neon dan hidrogen pada suhu rendah. Plat sejuk diperbuat daripada tembaga bebas oksigen, dan permukaan digilap ke tahap cermin untuk mengurangkan utusan.
Tekanan utama pam adalah Pa, julat tekanan kerja adalah Pa, dan tekanan pra-pam diperlukan untuk menjadi 1 Pa. Kadar pengepaman produk siap telah mencapai 60,000 liter / saat. Di samping itu, mengikut ciri-ciri proses, plat sejuk pengekstrakan udara boleh diatur dalam bekas yang dipam, dan kadar pengekstrakan udara boleh mencapai lebih daripada 106 liter / saat.
Ciri-ciri struktur
Struktur menegak: sesuai untuk mengebumikan di dalam tanah, ia tidak akan terjejas oleh udara panas motor, suhu udara dan cahaya matahari, dan lain-lain, dan mudah untuk menjaga sejuk; ia boleh mengurangkan ketinggian sedutan pam, meningkatkan kepala pengisian, dan meningkatkan NPSH yang berkesan; struktur menegak juga Ia bermanfaat untuk udara ekzos, supaya aci penggantungan mempunyai ketinggian yang mencukupi untuk memudahkan susunan peranti pengedap aci, jadi pam juga dipanggil pam tong menegak.
Struktur simetri: Struktur keseluruhan pam berusaha untuk disusun secara simetri supaya ia boleh berubah bentuk secara seragam dalam keadaan sejuk. Kepala sejuk secara amnya mengamalkan mekanisme dua peringkat, peringkat pertama mencapai 80K, dan peringkat kedua mencapai suhu 10K.
Cangkerang dua lapisan: Untuk mengekalkan sejuk dan memudahkan pengangkutan media berbahaya, ia biasanya dibuat menjadi shell dua lapisan. Cangkerang dalaman tertakluk kepada tekanan pam, dan tekanan sedutan adalah antara shell dalaman dan shell luar, yang boleh mengurangkan keperluan kekuatan shell dalaman dengan sewajarnya. Cangkerang luar perlu dibuat menjadi interlayer vakum, yang telah mencapai kesan penebat haba.