Cryopumps juga digunakan secara meluas dalam kehidupan hari ini. Ramai orang mungkin tidak pernah mendengar tentang cryopumps. Cryopumps adalah sejenis pam vakum yang menggunakan gas pemeluwapan permukaan suhu rendah. Kelebihannya ialah kuasa mengepam adalah yang terbesar. Hari ini, mari kita lihat pam kriogenik Bagaimana pam berfungsi.
Prinsip kerja cryopump adalah menggunakan gas untuk menyerap secara fizikal pada permukaan suhu ultra rendah untuk mencapai kesan meletihkan. Ia adalah kaedah yang berkesan dan cepat untuk mendapatkan vakum yang bersih.
Cryopump boleh mencapai vakum yang sangat tinggi (10-11Pa), dan mempunyai kelebihan kelajuan ekzos pantas, tiada minyak dan arah pemasangan tanpa had.
Pada peringkat pertama sejuk cryopump, penutup perisai dan baffle ditetapkan, dan suhu dikekalkan pada 80K. Peringkat penyejukan sekunder dikekalkan pada 15K, dan penutup kriogenik dan penyerap karbon aktif ditetapkan di atasnya.
Wap air dipadatkan pada perisai 80K dan baffle 80K; nitrogen, oksigen dan argon dipadatkan pada penutup kriogenik 15K; hidrogen, helium dan neon diserap pada penyerap di dalam penutup kriogenik 15K. Cryopump boleh menghabiskan semua gas, tetapi jika jumlah gas yang diserap terlalu besar, kelajuan ekzos akan dikurangkan. Dalam kes ini, adalah perlu untuk memanaskan cryopump, melepaskan gas yang diserap, dan menggunakannya lagi.
Ciri-ciri Cryopump
Cryopump adalah pam vakum yang menggunakan permukaan suhu rendah untuk mengembun gas, juga dikenali sebagai pam kondensat. Cryopump boleh mendapatkan vakum bersih dengan kadar pam tertinggi dan tekanan muktamad terendah, dan digunakan secara meluas dalam penyelidikan dan pengeluaran semikonduktor dan litar bersepadu, serta penyelidikan rasuk molekul, peralatan salutan vakum, instrumen analisis permukaan vakum, implan ion dan peranti simulasi ruang, dan lain-lain aspek.
Cryopump adalah pam vakum yang menggunakan kesan pemeluwapan permukaan penyejukan suhu yang sangat rendah (≤77K) untuk mengeluarkan gas dari sistem. Sejak tahun 1960-an, pam kriogenik telah semakin banyak digunakan dalam pemerolehan dan penggunaan vakum.
Cryopump adalah pam vakum yang bersih. Kerana medium kriogenik hanya penyejuk yang menyejukkan permukaan sedutan pam dan disimpan atau diedarkan dalam bekas tertutup, ia tidak mempunyai sebarang hubungan dengan ruang vakum. Ciri ini sangat penting untuk sistem vakum tertentu yang memerlukan sistem vakum bebas minyak yang bersih.
Cryopumps boleh mencapai tekanan separa yang sangat rendah dan kelajuan mengepam yang sangat tinggi untuk kebanyakan gas. Apabila cryopump berfungsi dalam medium helium cecair, ia juga mempunyai kelebihan kapasiti pam sebenar yang hebat dan pam tidak selektif (kecuali helium).
Cryopumps memainkan peranan penting dalam penyelidikan dan pengeluaran semikonduktor dan litar bersepadu, penyelidikan rasuk molekul dan bidang lain. Ia adalah pam vakum yang bersih. Di atas adalah mengenai prinsip kerja cryopumps.