Cryopumps dibuat mengikut prinsip pemeluwapan gas, penjerapan kriogenik, perangkap kriogenik atau sedutan untuk mendapatkan vakum.
1. Mengikut tekanan kerja pam, ia boleh dibahagikan kepada cryopump untuk julat aliran berterusan, cryopump untuk julat aliran molekul, biasanya pam kondensat ditambah peringkat penjerapan atau peringkat tangkapan kriogenik.
2. Mengikut kaedah penyejukan, ia boleh dibahagikan kepada cryopump tangki simpanan, cryopump penyejatan dan cryopump penyejukan. Antaranya, cryopump tangki simpanan dan cryopump penyejatan kedua-duanya menggunakan penyejuk cecair untuk penyejukan, permukaan perisai penyejuk biasanya digunakan nitrogen cecair, dan permukaan kriogenik biasanya digunakan helium cecair atau helium gas untuk penyejukan. Oleh kerana kemudahbakaran, letupan dan harga hidrogen cecair yang tinggi, ia masih jarang digunakan walaupun entalpi penyejatannya lebih tinggi daripada helium cecair.
Peti sejuk cryopump penyejukan biasanya digunakan oleh Gifford. Jenis McMahon (dirujuk sebagai peti sejuk GM) dan jenis Stirling (dirujuk sebagai peti sejuk St). Untuk cryopump penyejukan dengan kelajuan mengepam yang besar, peti sejuk gred suhu helium cecair boleh digunakan, dan injap JT boleh ditetapkan untuk membentuk peranti penyejukan peredaran cecair, dan kadangkala nitrogen cecair dalam tangki simpanan cecair atau mesin pencairan nitrogen digunakan untuk sejukkan permukaan penyekat dan perisai.
Prestasi utama cryopump
①Lebih tinggi daripada kelajuan mengepam, lebih baik daripada semua jenis pam lain.
②Tiada sekatan pada bentuk, ia boleh direndam dalam ruang vakum atau dipasang pada dinding ruang vakum dengan bebibir.
③Ia boleh memberikan vakum bersih sepenuhnya tanpa pencemaran kepada sistem vakum.
④Tahap vakum tekanan yang sangat rendah boleh diperolehi, seperti di bawah 10-12Pa. Selain itu, operasi cryopump boleh dipercayai, dan apabila kelajuan pengepaman agak besar, kos operasi pelaburannya lebih rendah daripada pam vakum tradisional, dan ia mudah untuk merealisasikan automasi.